Tu so afm slike pillarjev z različnimi defekti (+1, -1, +1.5).
Pillarji so naprintani z IP-DIP2, objektivom 63x v DILL.
Slikanje z afm-jem ni najbolj enostavno, saj so pillarji visoki 2 um. Igla skenira od leve proti desni. Levi rob je zelo oster. Desni, kjer igla pade nazaj na steklo, pa precej manj. Hitrost skeniranja je med 0.2 Hz in 0.02 Hz.
Na +1.5 defektu so iz centra vidne 3 ostre črte, katerih izvor je potrebno ugotoviti in jih eliminirati.
